In-situ elipsometrijas pētījumi attēlu veidošanas GaAs pamatņu slapjās tīrīšanas metodes izveidei (EpiClean)

Apraksts

Projektā izstrādā un validē ķīmisko, nemehānisko tīrīšanas procesu, lai iegūtu attēlveidošanai atbilstošu, epitaksijai gatavu GaAs nelielām (<1 collas) fotokatodu plāksnēm, ko izmanto infrasarkanās un nakts redzamības iekārtās.

Sasniedzamie rezultāti

Procesa kontrolei un tā parametru robežvērtībām tiks izveidota un attīstīta in-situ spektroskopiskā elipsometrijas metode, kas tiks atbalstīta ar atomspēku mikroskopijas un rentgenstaru fotoelektronu spektroskopijas mērījumiem.

Ieguvums

Projekta rezultātā tiks izveidots tīrīšanas un žāvēšanas process, kā arī tiks veikta sākotnējā projektēšana nākotnes industriālajām iekārtām.

Komanda

Ph.D. Ainārs Ozols
Vadošais pētnieks ainars.ozols@cfi.lu.lv
Dr.phys. Vladimirs Pankratovs
Vadošais pētnieks
Dr.phys. Laima Trinklere
Vadošā pētniece
Dzintars Bērziņš
Zinātniskais asistents
Čiro Federiko Tipaldi
Zinātniskais asistents
Ilona Vanaga
Dace Līduma